二十年前,中国科技产业面临“缺芯少屏”的困境,集团顺应国家半导体显示产业蓬勃发展的浪潮,于2008年成立于改革开放的前沿城市--深圳。
自成立之初,公司一直定位于半导体显示产业关键制程设备和材料的国产化。经过十余年的潜心研发已先后突破了LCD制程中的Molecular pump(分子泵),Robot(真空机械臂),Chiller(冷冻机)的研发和制造。并实现了氟化液、润滑脂、O-ring等进口材料的国产化替代。
2019年,公司切入半导体芯片行业的产业链,通过海外并购和自主研发并行的模式,迅速占领Fab领域高端客户市场,并陆续推出了PECVD 等离子体化学气相沉积设备,Coating 自动匀胶显影机,DEV显影机,Wet Bench 单片清洗机,Asher 去光阻等設備,同时将欧美封锁高端制程CVD SIC,SI电极,ESC等关键材料实现了国产化。