半导体设备Scrubber，也称为尾气处理设备或洗涤塔，是半导体、面板及太阳能电池等行业中不可或缺的关键设备。
Scrubber应用环境
半导体制程尾气处理设备(Local Scrubber) 为处理各种有害性气体，让其在无尘室机台端(POU)反应被排放后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做处理，避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，产生局部聚积或相互反应，待处理过后的气体再接续至厂务端做第二道处理，以减少厂务端污染物处理上的负荷，达到对半导体业空气污染管制及排放的标准。
Scrubber分类
尾气处理设备（Local Scrubber）根据处理废气方式，主要分为两大类：干式和湿式，四种处理模式：水洗式、氧化式、吸附式和等离子燃烧式，通过物理吸附或者化学中和反应将大部分有害物质进行中和或者固定处理的一种设备。
半导体制程废气产出汇总
半导体制程各类Scrubber
工况能力对比：
半导体制程尾气处理设备(Local Scrubber) 为处理各种有害性气体，让其在无尘室机台端(POU)反应被排放后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做处理，避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，产生局部聚积或相互反应，待处理过后的气体再接续至厂务端做第二道处理，以减少厂务端污染物处理上的负荷，达到对半导体业空气污染管制及排放的标准。
云在上在废气处理机
（Scrubber）上的布局
云在上公司自成立之初，公司一直定位于半导体显示产业关键制程设备和材料的国产化。其中在 Scrubber 设备方面展现出独特的战略眼光。作为半导体、面板及太阳能电池等行业处理有害性废气的关键设备，Scrubber 设备的重要性不言而喻。云在上公司深入洞察行业对 Scrubber 设备高效、稳定处理废气的需求，投入大量资源进行研发与技术创新。
在这样的布局下，云在上公司推出了一系列具有竞争力的产品，在市场中崭露头角，为众多企业解决了废气处理难题，助力相关行业实现绿色、可持续发展 。
云在上Scrubber设备可交付品类涵盖相关领域市面所有类型，具体信息如下：
